詞條
詞條說明
國產(chǎn)普旭真空泵的保養(yǎng)知識(1)每天對普旭真空泵油位進(jìn)行檢查,油位過高,使溫度升高,油位過低,造成潤滑不良。每月檢查油的品質(zhì),如果變質(zhì)須馬上換。(2)每天檢查泵的溫升,電機(jī)負(fù)荷及溫升。(3)定期檢查旋片泵的軸承、油封、齒輪等部件,如有損壞應(yīng)予換。
羅茨泵工作原理分子泵 分子泵在國外半導(dǎo)體領(lǐng)域里的許多工藝場合是用來代替低溫泵,尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復(fù)合分子泵和牽引泵作為主泵。由于分子泵對水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫泵抽速的四分之一,所以分子泵的排氣時間比低溫泵長。為了提高抽速,國外在分子泵的入口側(cè)裝一個-130℃~-150℃的低溫冷板,稱之為低溫分子泵,水蒸氣被低溫板捕獲,其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真空鍍膜裝置上應(yīng)
旋片式真空泵使用說明:一.?首先在開箱時要檢查您所采購的旋片式真空泵在運(yùn)輸過程中是否有損壞、是否符合使用要求。如您發(fā)現(xiàn)有所不理解,請馬上致電我公司銷售工程師二.?您在使用安裝調(diào)試旋片式真空泵前,請您仔細(xì)詳閱使用說明,嚴(yán)格按產(chǎn)品操作程序?qū)嵤?,并要注意先擰開加油螺塞從加油孔中加油至油標(biāo)2/3,后從進(jìn)氣管孔內(nèi)加入少許泵油為加強(qiáng)泵腔內(nèi)潤滑。油位過低對排氣閥不能起封閉作用且影響真空度,過
日常維護(hù)1、定期做保養(yǎng)時,將散熱油管及其它油路管拆卸下來進(jìn)行清洗和疏通。2、當(dāng)真空泵積碳嚴(yán)重時,必須進(jìn)行大的維護(hù)保養(yǎng)工作,必要時需更換油路管。因?yàn)?,?dāng)真空泵積碳后,不知道油管內(nèi)壁會有多厚的積碳。3、定期檢查油管是否漏油、穿孔等情況。如有發(fā)生,及時處理。4、散熱油管外表有一層散熱鰭片,該功能在風(fēng)冷的情況下能較好的降低真空泵溫度,達(dá)到較穩(wěn)定的真空度。故而在搬運(yùn)、使用時小心對待。5、由于該產(chǎn)品采用鋁質(zhì)材
聯(lián)系人: 黃先生
電 話: 17502155678
手 機(jī): 17502155678
微 信: 17502155678
地 址: 上海金山廊下鎮(zhèn)金廊公路41號10幢224室
郵 編:
網(wǎng) 址: shm159861.b2b168.com
聯(lián)系人: 黃先生
手 機(jī): 17502155678
電 話: 17502155678
地 址: 上海金山廊下鎮(zhèn)金廊公路41號10幢224室
郵 編:
網(wǎng) 址: shm159861.b2b168.com