詞條
詞條說(shuō)明
XD系列真空泵安裝方法:?(1)安裝?泵應(yīng)水平安放。由于泵運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)幾乎沒(méi)有振動(dòng)一般可不固定,泵底部減震墊塊上有公制螺孔用以固定泵。不要在地面上推拉泵,以免損壞減震墊塊。?為保證泵得到良好的冷卻和便于維修,建議在泵進(jìn)氣口和排氣口前留有0.4m的空隙。為方便放油可安裝帶放油盤(pán)的底座。?發(fā)運(yùn)的泵不帶油。安裝后,通過(guò)加油口緩慢注入所規(guī)定的真空泵油(見(jiàn)保養(yǎng)、維修1)到油
????普旭真空泵使用說(shuō)明:?????新泵安裝就位后先查看油位,齒輪側(cè)油位以油面浸沒(méi)3-5齒為宜,電機(jī)側(cè)以油窗中心略高為宜,軸伸上油杯不應(yīng)缺油,各部位潤(rùn)滑油均采用1號(hào)真空泵油。?????1、真空泵啟動(dòng)程序:????&nb
旋片式真空泵工作原理???旋片式真空泵(簡(jiǎn)稱旋片泵)是一種油封式機(jī)械真空泵。其工作壓強(qiáng)范圍為101325~1.33×10-2(Pa)屬于低真空泵。它可以單使用,也可以作為其它高真空泵或高真空泵的前級(jí)泵。它已廣泛地應(yīng)用于冶金、機(jī)械、**、電子、化工、輕工、石油及醫(yī)藥等生產(chǎn)和科研部門(mén)。???旋片泵可以抽除密封容器中的干燥氣體,若附有氣鎮(zhèn)裝置,
羅茨泵工作原理分子泵 分子泵在國(guó)外半導(dǎo)體領(lǐng)域里的許多工藝場(chǎng)合是用來(lái)代替低溫泵,尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復(fù)合分子泵和牽引泵作為主泵。由于分子泵對(duì)水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫泵抽速的四分之一,所以分子泵的排氣時(shí)間比低溫泵長(zhǎng)。為了提高抽速,國(guó)外在分子泵的入口側(cè)裝一個(gè)-130℃~-150℃的低溫冷板,稱之為低溫分子泵,水蒸氣被低溫板捕獲,其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真空鍍膜裝置上應(yīng)
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