詞條
詞條說明
真空泵油和潤滑油的區(qū)別:1、真空泵油具有一定的粘度,粘度的高低決定了真空泵的密封性,粘度的過小,密封性則不好;粘度過高,會(huì)加大泵內(nèi)葉片與缸體的摩擦力度,潤滑作用就會(huì)變差,同時(shí),轉(zhuǎn)子的旋轉(zhuǎn)將會(huì)變得困難,電機(jī)的壓力將會(huì)變高,油溫也會(huì)越來越高。油溫的升高會(huì)加速泵油的乳化呈度,真接影響真空度的高低。2、真空泵油的化學(xué)性質(zhì)趨于穩(wěn)定,水分、水溶酸、不溶堿和其它雜質(zhì)的含量要小的多的多,使用油能效的辟免多次換真空
旋片式真空泵常見故障如下:1.泵不轉(zhuǎn)。情況不明不能先開泵,以免加重故障。用手能盤動(dòng)和不能盤動(dòng)。2.泵溫太高。指低級(jí)排氣閥附近測(cè)得的較高油溫過使用說明書值。由于泵溫升高會(huì)使泵油粘度大幅下降,并使泵油的飽和蒸汽壓升高,使泵的壓力升高和抽氣效率下降;使橡膠件容易老化;熱膨脹使運(yùn)轉(zhuǎn)間隙縮小,特別是某些非金屬旋片的厚度方向和銅套內(nèi)孔間隙,影響泵運(yùn)轉(zhuǎn)的可靠性。泵溫太高的原因可以是泵溫度太高,進(jìn)氣溫度太高,進(jìn)氣
羅茨泵工作原理分子泵 分子泵在國外半導(dǎo)體領(lǐng)域里的許多工藝場(chǎng)合是用來代替低溫泵,尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復(fù)合分子泵和牽引泵作為主泵。由于分子泵對(duì)水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫泵抽速的四分之一,所以分子泵的排氣時(shí)間比低溫泵長。為了提高抽速,國外在分子泵的入口側(cè)裝一個(gè)-130℃~-150℃的低溫冷板,稱之為低溫分子泵,水蒸氣被低溫板捕獲,其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真空鍍膜裝置上應(yīng)
旋片真空泵羅茨泵 從國外羅茨泵生產(chǎn)情況來看,國外幾家大公司,如Leybold、Balzers、Alcatell、Edwards和ULVAC,他們各家羅茨泵的銷售額占**羅茨泵銷售額的比例都沒過5%,這5家總計(jì)才20%,羅茨泵產(chǎn)量不大,但國外羅茨泵的價(jià)格遠(yuǎn)比國產(chǎn)泵要高得多。國內(nèi)外幾乎所有大型或小型的高真空和中真空系統(tǒng),為了縮短抽氣時(shí)間、提高生產(chǎn)效率都配有羅茨泵,所以國產(chǎn)羅茨泵一定要在**國內(nèi)市場(chǎng)基礎(chǔ)
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