詞條
詞條說(shuō)明
羅茨泵工作原理分子泵 分子泵在國(guó)外半導(dǎo)體領(lǐng)域里的許多工藝場(chǎng)合是用來(lái)代替低溫泵,尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復(fù)合分子泵和牽引泵作為主泵。由于分子泵對(duì)水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫泵抽速的四分之一,所以分子泵的排氣時(shí)間比低溫泵長(zhǎng)。為了提高抽速,國(guó)外在分子泵的入口側(cè)裝一個(gè)-130℃~-150℃的低溫冷板,稱(chēng)之為低溫分子泵,水蒸氣被低溫板捕獲,其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真空鍍膜裝置上應(yīng)
普旭真空泵安裝?????(1)真空泵應(yīng)安裝在干燥、通風(fēng)良好和清潔的場(chǎng)所。?????(2)真空泵的環(huán)境溫度為5-40℃。?????(3)真空泵應(yīng)水平安裝,其周?chē)鷳?yīng)留有充分的余地,便于日常檢查、維護(hù)保養(yǎng)。裝拆方便。???&n
【吸塑機(jī)真空泵廠(chǎng)家】XD系列真空泵安裝方法
XD系列真空泵安裝方法:?(1)安裝?泵應(yīng)水平安放。由于泵運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)幾乎沒(méi)有振動(dòng)一般可不固定,泵底部減震墊塊上有公制螺孔用以固定泵。不要在地面上推拉泵,以免損壞減震墊塊。?為保證泵得到良好的冷卻和便于維修,建議在泵進(jìn)氣口和排氣口前留有0.4m的空隙。為方便放油可安裝帶放油盤(pán)的底座。?發(fā)運(yùn)的泵不帶油。安裝后,通過(guò)加油口緩慢注入所規(guī)定的真空泵油(見(jiàn)保養(yǎng)、維修1)到油
【單級(jí)旋片式真空泵廠(chǎng)家】普旭真空泵逆止閥的性能及特點(diǎn)
普旭真空泵逆止閥的性能及特點(diǎn):1、采用特殊橡膠塑料制成,具有耐高溫、抗擊打的特點(diǎn),在真空泵油的高溫的環(huán)境中不易變形;2、O型圈采用氟膠圈,在具有很好的密封作用下,還具有耐高溫、不粘結(jié)、壽命長(zhǎng)的特點(diǎn);3、彈簧材質(zhì)經(jīng)測(cè)試后,平均起彈次數(shù)達(dá)50億次以上;4、嚴(yán)格按照原廠(chǎng)尺寸生產(chǎn)而成,可順利安裝入真空泵進(jìn)氣口,且完全符合進(jìn)氣口的尺寸。此點(diǎn)用戶(hù)可放心使用!5、起彈效果佳,在產(chǎn)品使用壽命內(nèi),均能正?;謴?fù)常態(tài)。
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