基于Block Engineering**級(jí)聯(lián)激光器的對(duì)生化威脅的非接觸檢測(cè)

時(shí)間：2023-02-04作者：深圳維爾克斯光電有限公司瀏覽：139

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• 詞條

  詞條說明

• 線激光元件被用于晶圓檢測(cè)

  在半導(dǎo)體行業(yè)中，極小的表面缺陷和顆粒是一個(gè)主要問題，這會(huì)降低產(chǎn)量并耗費(fèi)生產(chǎn)的時(shí)間和成本。因此，檢測(cè)半導(dǎo)體晶圓表面的缺陷和污染至關(guān)重要，這是在半導(dǎo)體計(jì)量行業(yè)許多客戶面臨的挑戰(zhàn)。晶圓表面檢測(cè)的快速且具有成本效益的方法之一是使用激光線照明和暗場(chǎng)/明場(chǎng)顯微鏡來檢測(cè)缺陷，通常在深紫外（DUV）波長(zhǎng)下檢測(cè)100nm以下的缺陷。在這種方法中，Holoor指出當(dāng)線沿徑向掃描時(shí)，晶圓旋轉(zhuǎn)，產(chǎn)生晶圓的大面積采樣，從而

• 振動(dòng)標(biāo)準(zhǔn)，隔震等級(jí)，VC曲線

  VC標(biāo)準(zhǔn)曲線（VC振動(dòng)標(biāo)準(zhǔn)）由Eric Ungar和Colin Gordon于20世紀(jì)80年代初開發(fā)。它們最初是作為半導(dǎo)體、醫(yī)療和生物制藥行業(yè)振動(dòng)敏感設(shè)備的通用振動(dòng)標(biāo)準(zhǔn)而開發(fā)的，但現(xiàn)已廣泛應(yīng)用于各種技術(shù)領(lǐng)域。VC振動(dòng)標(biāo)準(zhǔn)采用了一組三分之一倍頻程頻帶速度譜的形式，以及國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)化組織（ISO）關(guān)于振動(dòng)對(duì)建筑物內(nèi)人員影響的指導(dǎo)方針。該標(biāo)準(zhǔn)適用于在垂直和兩個(gè)水平方向測(cè)量的振動(dòng)。對(duì)于某種用于安裝精密設(shè)備或儀

• 為什么選擇徑向偏振轉(zhuǎn)換器而不是徑向偏振轉(zhuǎn)換片？

  Arcoptix生產(chǎn)的徑向偏振轉(zhuǎn)換片的內(nèi)部結(jié)構(gòu)由向列液晶分子構(gòu)成，由于在徑向偏振轉(zhuǎn)換片的內(nèi)部，上半部分與下半部分的向列液晶分子扭轉(zhuǎn)角方向不同，導(dǎo)致徑向偏振轉(zhuǎn)換器形成一條缺陷線，直接作用在效果圖上，如下圖所示。當(dāng)線偏振光振動(dòng)方向垂直于單元軸入射時(shí)，經(jīng)過徑向偏振轉(zhuǎn)換片可得到徑向偏振光，當(dāng)線偏振光振動(dòng)方向平行于單元軸入射時(shí)，經(jīng)過徑向偏振轉(zhuǎn)換片可得到方向偏振光。缺陷線可根據(jù)相位延遲器的電壓調(diào)整相位差，對(duì)缺

• 法國(guó)Phasics 波前傳感器應(yīng)用

  法國(guó)Phasics SID4 波前傳感器系列在激光參數(shù)測(cè)試上的應(yīng)用（作為光斑分析儀）：Phasics波前傳感器可同時(shí)提供高分辨率的相位圖和強(qiáng)度圖。 它與SID4軟件結(jié)合使用，可以對(duì)激光束進(jìn)行完整的參數(shù)測(cè)試報(bào)告：波前像差，激光束參數(shù)，光束輪廓，M2光束質(zhì)量參數(shù)等等參數(shù)。其緊湊的設(shè)計(jì)可以直接定位在激光光束的任何位置，因此它可以直接測(cè)量發(fā)散光束。緊湊且易于對(duì)準(zhǔn)，無中繼透鏡的發(fā)散光束測(cè)量，光束輪廓。Pha