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詞條說明
介紹半導(dǎo)體器件生產(chǎn)中硅片須經(jīng)嚴(yán)格清洗。微量污染也會(huì)導(dǎo)致器件失效。清洗的目的在于清除表面污染雜質(zhì),包括**物和無機(jī)物。這些雜質(zhì)有的以原子狀態(tài)或離子狀態(tài),有的以薄膜形式或顆粒形式存在于硅片表面。**污染包括光刻膠、**溶劑殘留物、合成蠟和人接觸器件、工具、器皿帶來的油脂或纖維。無機(jī)污染包括重金屬金、銅、鐵、鉻等,嚴(yán)重影響少數(shù)載流子壽命和表面電導(dǎo);堿金屬如鈉等,引起嚴(yán)重漏電;顆粒污染包括硅渣、塵埃、細(xì)菌
前言:在太陽能發(fā)電領(lǐng)域中,硅片的切割品質(zhì)可以直接危害硅片達(dá)標(biāo)率和太陽能電池板的良品率,硅片切割全過程中會(huì)發(fā)生較多的切割產(chǎn)品質(zhì)量問題,膠面崩邊是一種常用的問題。在太陽能發(fā)電領(lǐng)域中,硅片的切割品質(zhì)可以直接危害硅片達(dá)標(biāo)率和太陽能電池板的良品率,硅片切割全過程中會(huì)發(fā)生較多的切割產(chǎn)品質(zhì)量問題,膠面崩邊是一種常用的問題。伴隨著太陽能發(fā)電領(lǐng)域的快速發(fā)展和技術(shù)進(jìn)步,對(duì)硅片質(zhì)量的需求也較為嚴(yán)苛。文中主要是對(duì)造成膠面
隨著著工業(yè)生產(chǎn)的迅速進(jìn)步和高精密加工規(guī)定的不斷提升,有關(guān)的高精密加工技術(shù)性也在快速發(fā)展趨勢(shì),高精密激光切割機(jī)也較加被市場(chǎng)所接納。金屬薄板式高精密激光切割機(jī)的加工加工工藝,加工高精度,速度較快,切割面整平,一般未作后面加工。熱危害范圍小,家具板材形變小,加工高精度,可重塑,材料表層沒有受損的。當(dāng)今,精加工的運(yùn)用逐漸增加。已廣泛運(yùn)用到激光電焊焊接、激光切割、激光開洞(包含鉆斜、異孔、藥膏開洞、水松紙打
硅片切割一般有什么難點(diǎn)1、雜質(zhì)線痕:由多晶硅錠內(nèi)雜質(zhì)引起,在切片過程中無法完全去除,導(dǎo)致硅片上產(chǎn)生相關(guān)線痕。2、劃傷線痕:由砂漿中的SIC大顆粒或砂漿結(jié)塊引起。切割過程中,SIC顆?!翱ā痹阡摼€與硅片之間,無法溢出,造成線痕。 表現(xiàn)形式:包括整條線痕和半截線痕,內(nèi)凹,線痕發(fā)亮,較其它線痕較加窄細(xì)。 3、密布線痕(密集型線痕):由于砂漿的磨削能力不夠或者切片機(jī)砂漿回路系統(tǒng)問題,造成硅片上出現(xiàn)密集線痕
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