詞條
詞條說明
新型的濺鍍設(shè)備幾乎都使用強力磁鐵將電子成螺旋狀運動以加速靶材周圍的氬氣離子化,造成靶與氬氣離子間的撞擊機率增加,提高濺鍍速率。一般金屬鍍膜大都采用直流濺鍍,而不導(dǎo)電的陶磁材料則使用RF交流濺鍍,基本的原理是在真空中利用輝光放電(glow discharge)將氬氣(Ar)離子撞擊靶材(target)表面,電漿中的陽離子會加速沖向作為被濺鍍材的負(fù)電極表面,這個沖擊將使靶材的物質(zhì)飛出而沉積在基板上形成
眾所周知,靶材材料的技術(shù)發(fā)展趨勢與下游應(yīng)用產(chǎn)業(yè)的薄膜技術(shù)發(fā)展趨勢息息相關(guān),隨著應(yīng)用產(chǎn)業(yè)在薄膜產(chǎn)品或元件上的技術(shù)改進,靶材技術(shù)也應(yīng)隨之變化。如Ic制造商.近段時間致力于低電阻率銅布線的開發(fā),預(yù)計未來幾年將大幅度取代原來的鋁膜,這樣銅靶及其所需阻擋層靶材的開發(fā)將刻不容緩。另外,近年來平面顯示器(FPD)大幅度取代原以陰極射線管(CRT)為主的電腦顯示器及電視機市場.亦將大幅增加ITO靶材的技術(shù)與市場需
公司團隊服務(wù)鍍膜領(lǐng)域十二年,對各材料的靶材研發(fā)、設(shè)計、制造、擁有成熟的經(jīng)驗;公司與國內(nèi)外各行業(yè)科研院所長期合作,為眾多國內(nèi)外工程項目提供了優(yōu)質(zhì)的靶材產(chǎn)品;公司注重用戶實踐與產(chǎn)品研發(fā),取得多項專利和研發(fā)成果。
售前服務(wù):專家級設(shè)計團隊為您解決項目建設(shè)所需的鍍膜材料方案設(shè)計和咨詢工作,幫您節(jié)約投資和降低能耗;過程服務(wù):您交付的任務(wù),我們的專業(yè)管理團隊按照ISO9001的質(zhì)量管理體系,做好每一個細(xì)節(jié);售后服務(wù):售后團隊技術(shù)精湛,經(jīng)驗豐富。
公司名: 醴陵市利吉升新材料有限公司
聯(lián)系人: 謝小姐
電 話: 0769-88039551
手 機: 18681059431
微 信: 18681059431
地 址: 湖南株洲醴陵市仙岳山街道五里墩村
郵 編:
網(wǎng) 址: dgsdwxc.cn.b2b168.com
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