氣浮直線臺(tái)主要的特點(diǎn)有哪些

時(shí)間：2022-04-17作者：北京瑞邦精控科技有限公司瀏覽：140

北京瑞邦精控科技有限公司專注于氣浮轉(zhuǎn)臺(tái),氣浮運(yùn)動(dòng)臺(tái),精密運(yùn)動(dòng)臺(tái)等

• 詞條

  詞條說(shuō)明

• 氣浮平臺(tái)介紹

  高精度和高分辨率的氣浮平臺(tái)系統(tǒng)在近代工業(yè)生產(chǎn)和科學(xué)研究領(lǐng)域內(nèi)占有為重要的地位。它直接影響精密、精密切削加工水平、精密測(cè)量水平及大規(guī)模集成電路生產(chǎn)水平。它的各項(xiàng)技術(shù)指標(biāo)是各國(guó)高技術(shù)發(fā)展水平的重要標(biāo)志。氣浮平臺(tái)系統(tǒng)的定位精度和行程范圍直接影響到生產(chǎn)加工的精度和加工能力。同時(shí)工作臺(tái)的速度、加速度及啟停過(guò)程的穩(wěn)定時(shí)間則影響到設(shè)備的效率，成為系統(tǒng)的重要指標(biāo)。由于精密及精密氣浮平臺(tái)的定位精度和分辨率多

• 氣浮運(yùn)動(dòng)臺(tái)主要有哪些優(yōu)點(diǎn)

  氣浮運(yùn)動(dòng)臺(tái)，隨著半導(dǎo)體進(jìn)入到快速發(fā)展的階段，相應(yīng)的加工檢測(cè)設(shè)備也會(huì)逐漸的提高性能，所以有許多的公司都會(huì)用到氣浮運(yùn)動(dòng)臺(tái)，這是一款高精度的設(shè)備，主要作用于半導(dǎo)體加工、檢測(cè)，微納加工，測(cè)試測(cè)量等，但是它到底有哪些主要的優(yōu)勢(shì)。1.? ?直線度和平面度高2.? ?定位精度和重復(fù)定位高3.? ?速度穩(wěn)定性高4.? ?偏擺、俯仰、滾

• 氣浮直線臺(tái)主要的特點(diǎn)有哪些

  在常見(jiàn)的工業(yè)設(shè)備中，經(jīng)常性會(huì)看到一些高精密設(shè)備，其中出現(xiàn)幾率比較高的，就是氣浮直線臺(tái)，但是在使用的過(guò)程中它到底有著什么樣的特點(diǎn)呢？大部分的人可能都不會(huì)特別了解，首先我們了解的氣浮直線臺(tái)的直線度和平面度在亞微米級(jí)別，因?yàn)闅飧?dǎo)軌在使用過(guò)程中實(shí)現(xiàn)的無(wú)摩擦運(yùn)動(dòng)，具有清潔無(wú)污染，免維護(hù)，運(yùn)動(dòng)精度高的特點(diǎn)。那為什么氣浮直線臺(tái)的直線度和平面度比機(jī)械線軌的精度高？其實(shí)我們可以猜測(cè)到，2種產(chǎn)品的導(dǎo)軌是不同的，機(jī)械

• 高速精密氣浮平臺(tái)及其直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)特性

  由于氣浮導(dǎo)軌具有高精度、低阻尼、低摩擦、無(wú)污染等優(yōu)點(diǎn)；同時(shí)，直線電機(jī)具有無(wú)接觸、速度快、精度高、噪聲低等特點(diǎn)，在運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)中能夠直接產(chǎn)生直線運(yùn)動(dòng)，避免了滾珠絲杠、螺母等中間傳動(dòng)機(jī)構(gòu)，實(shí)現(xiàn)了直接驅(qū)動(dòng)。因此，直線電機(jī)和氣浮導(dǎo)軌的結(jié)合，能夠充分發(fā)揮各自的特點(diǎn)，適合應(yīng)用于精密運(yùn)動(dòng)平臺(tái)的 設(shè)計(jì)之中。但由于直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)的高速精密氣浮平臺(tái)加速度變化的不連續(xù)性以及缺少中間彈性阻尼環(huán)節(jié)，抗干擾能力較差，易產(chǎn)生調(diào)和振